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2020-02-24小刘科研笔记之几种常见的研磨抛光液的优劣势分析

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研磨抛光是半导体加工过程中的一项重要工艺,?主要应用于半导体表面进行加工, 研磨液、抛光液是影响半导体表面质量的重要因素。

研磨是半导体加工过程中的一项重要工艺,?它主要是应用化学研磨液混配磨料的方式对半导体表面进行精密加工,?这种化学研磨工艺几乎涉及到半导体制程中的各个环节,?研磨液是影响半导体表面质量的重要因素。

对于研磨工件产品,品种多;可选择不同程度效果的氧化铝研磨液,研磨速度快可减省研磨时间,提高生产效率,作业后工件表面比较平滑。

加油或者加水稀释使用,有效,方便,无污染,不腐蚀等特点。其中金刚石颗粒硬度好,粒度均匀,磨削效果好。

用于在蓝宝石衬底的研磨和减薄的研磨液,蓝宝石研磨液利用聚晶金刚石的特性,在研磨抛光过程中保持高切削的效率,同时不易对工件产生划伤。

(1)切力较稳定,性价比高;

(2)铝为电和热的良导体,而氧化铝则是电与热的绝缘体;

(3)具有良好的研磨稳定效果;

(4)品种多,可以进行粗磨和细磨,视半导体材质而定;

(5)适用作为Inp、GaAs半导体的研磨液。

? 分散稳定性不好、易团聚、易沉淀。

(1)金刚石磨料是研磨硬质合金、陶瓷、宝石、光学玻璃等高硬度材料的理想原料;

(2)蓝宝石研磨液是蓝宝石衬底的研磨和减薄、光学晶体、硬质玻璃和晶体、超硬陶瓷和合金、刺头、硬盘、芯片领域的研磨;

(3)不适用于Inp、GaAs。

CMP抛光液( chemical mechanical polishing化学机械抛光,简称CMP)是平坦化精密加工工艺中超细固体研磨材料和化学添加剂的混合物,CMP抛光液一般由提供研磨作用的超细固体粒子如纳米级SiO2、Al2O3粒子等和提供腐蚀溶解作用的表面活性剂、稳定剂、氧化剂等组成。

广泛用于各类集成电路、半导体、蓝宝石、LED行业及其他领域的抛光过程,用来抛光、保护硅片等材料免受划伤,因此在芯片的制备过程中是离不开它的。

①.氧化铝抛光液:晶向稳定、硬度高、颗粒小且分布均匀;磨削力强、抛光速率快、镜面效果好;抛光液不易沉淀。

②. 氧化硅抛光液:

(1)分散性好。

(2)粒径分布广泛:5-100nm。

(3)适合与各种抛光垫、合成材料配合抛光使用。

(4)适用硅晶圆、蓝宝石等半导体及衬底材料的粗抛和精抛,抛光后易清洗,表面粗糙度低。

③ 白刚玉抛光液:纯度高、耐酸碱腐蚀、耐高温、热态性能稳定它硬度略高于棕刚玉,韧性稍低,自锐性好、磨削能力强、发热量小、效率高、热稳定性好。

优势在于

(1)氧化铝抛光的抛光速率快、二氧化硅抛光液易清洁。

(2)氧化铝抛光液良好的微粒形状,纯度高、磨削力强,表面粗糙度5-15nm。

(3)二氧化硅抛光液表面粗糙度低,而且抛光后易清洗,适用于二次抛光解决脏污。

(4)如图下氧化铝抛光液结合二氧化硅抛光液的效果图。

劣势在于: 氧化铝抛光液异常多,比如橘皮现象、表面出现白点现象;二氧化硅抛光液抛光过程中易产生结晶,对硬底材料抛光速率低。

白刚玉微粉可用做触媒体,绝缘体以及精密铸造砂等。

不积珪步,无以至千里;不积细流,无以成江海。做好每一份工作,都需要坚持不懈的学习。

株洲锐辰硬质合金有限公司怎么样

企知道数据显示,株洲锐辰硬质合金有限公司成立于2020-10-22,注册资本1000.0万人民币人,是一家以从事有色金属冶炼和压延加工业为主的国家级高新技术企业。公司曾先后获授“国家科技型中小企业”、“国家高新技术企业”等资质和荣誉。

在知识产权方面,株洲锐辰硬质合金有限公司拥有注册商标数量达到3个,专利信息达到5项。此外,株洲锐辰硬质合金有限公司还直接控制企业1家。

金正股吧

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2、深交所2020年7月2日交易公开信息显示,*ST金正因属于S、ST、*ST连续三个交易日内跌幅偏离值累计达到12%而登上龙虎榜。*ST金正今日报收2.05元,异常区间(7月1日至7月2日)涨跌幅为-9.69%,累计偏离值-12.00%,区间成交额586.57万元。 异常区间(7月1日到7月2日)买卖席位详情如下: 龙虎榜数据显示,异常区间内共2个机构席位参与该股,分别为买二、卖三。合计净卖出134.05万元,占龙虎榜区间净卖额的28.52%。除此之外还有光大证券、洋河股份、利欧股份等33只个股榜单上出现了机构的身影,其中12家呈现机构净买入,净买入最多的是洋河股份,净买额为6.47亿元;21家呈现机构净卖出,其中净卖出最高的为光大证券,净卖额为7.59亿元。

注:文中合计数据已进行去重处理。 免责声明:本文基于大数据生产,仅供参考,不构成任何投资建议,据此操作风险自担。

公司概况

1、主营 :公司主营业务包括硬质合金和钨、钼、钽、铌等有色金属及其深加工产品和装备的研制、开发、生产、销售及贸易业务等。

2、重点 :公司是国内最大的硬质合金生产商,产品涵盖范围广,公司旗下的“钻石”、“长城”等硬质合金品牌在国内外具有较高的知名度和影响力。 主要产品包括:硬质合金、精密零件、数控刀片、数控刀具、整体刀具、 IT工具、钨钼及化合物、钽铌及化合物、钨粉末等,产品广泛应用于汽车制造、数控机床、航空航天、军工、机械模具加工、IT产业加工、船舶、海洋工程装备等制造加工领域。

3. 公司拥有全国唯一的硬质合金国家级重 点实验室,该实验室为国家材料领域四个优秀重点实验室之一,同时还配有国家认定企业技术中心、国家 认定质量控制与技术评价实验室、分析测试中心。 公司主持和参与了多项国家标准的制定,如《WC粉末微观组织及缺陷分析方法》、《切削刀具用可转位刀片型号表示规则》的制定,主持行业标准《硬质合金砧头》的制定。